PDC-002-S型等离子清洗机

PTL系列真空等离子表面处理技术----plasma technology

 PTL真空等离子系统致力于为航空航天、国防、汽车工业、半导体制造、纺织技术、电子微电子、生物工程、医学医疗、塑料橡胶、科研开发等行业客户提供解决方案，以帮助客户提高产品质量、提升生产效率，同时降低对环境的不良影响。
     PTL的等离子清洗和等离子刻蚀设备。采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz、13.56MHz，以及代表等离子应用Zui先进技术的2.45GHz的等离子清洗机。

 PTL等离子表面处理系统的特点：

等离子清洗机清洗效果好，效率高，应用范围广。

对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求

等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。

射频功率无极连续可调。

高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。

特制电极和托盘结构，可充分利用真空舱体内部空间，使处理效率Zui大化，同时也可保证样

品可得到全面有效的清洗。

特有的过载、短路和过热保护电路，可保证射频电源的稳定和安全。

设备整体模块化设计，安装与维护极为简单。

  PTL真空等离子系统构成

PTL系列低压等离子清洗系统由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是利用真空泵将工作室进行抽真空达到30-50Pa 的真空度，再在高频发生器交变电场的作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态），其显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的彩色可见光，材料处理温度接近室温。活性等离子对被清洗物进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，从而达到清洗目的，并且得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。